Alicat BASIS Serisi Gaz Kütle Akış Kontrol Cihazı

Performans

Mevcut aralıklar: 0-100 sccm, 0-1000 sccm ve 0-20 slpm (bkz. Parça Numaraları)

Çalışma aralığı (Turndown oranı): 200: 1 (1, 20 ve 50 slpm) veya 100: 1 (100 sccm)

Kalibrasyon doğruluğu, NIST ile izlenebilir: +/- (okumanın% 1,5'i + tam ölçek aralığının% 0,5'i)

Tekrarlanabilirlik: Tam ölçek aralığının% 0,5'i

Tipik kontrol yanıt süresi sabiti: 100 ms (PD ayarlaması ile ayarlanabilir)

Isınma süresi: 70 ms'den tam hassasiyete kadar

Çalışma koşulları

Uyumlu gazlar: Hava, Ar, CO2, N2, O2, N2O (seri bağlantı üzerinden seçilebilir); He veya H2 kalibrasyonu mevcuttur (sipariş sırasında bildirilir, yalnızca bir gazla kullanım içindir)

Çalışma sıcaklığı: 0 ° C … + 50 ° C

Maks iç basınç (statik): 0-100 ve 0-1000 sccm aralıkları için 145 psig (160 psia);

0-20 slpm aralıkları için 60 psig (75 psia)

Dayanabileceği basınç: 175 psig (190 psia)

STP: 25 ° C ve 1 atm (14.696 psia)