Alicat MCV Serisi Vakumlu Gaz Kütle Akış Kontrol Cihazı

Performans

Mevcut aralıklar: maks. 0-20 slpm, min 0-0.5 sccm / 0-500 sμlm

Kararlı durum kontrol aralığı: Tam ölçeğin% 0.01 -% 100'ü.

Standart doğruluk kalibrasyonu, NIST ile izlenebilir: +/- (çoğu üründe okunan değerin% 0,6'sı)

İsteğe bağlı yüksek doğruluklu kalibrasyon, NIST ile izlenebilir: +/- (çoğu üründe okunan değerin% 0,5'i)

Tekrarlanabilirlik: +/-% 0,1 okuma + tam ölçeğin% 0,02'si

Kontrol yanıt süresi sabiti: 50-100 ms (PID ayarlama ile 25 ms kadar düşük)

Pnömatik valf sızıntı doğruluğu (yalnızca MCV): 1 x 10-9 atm scc / sn Helyum maks.

Isınma süresi gerekmez

Çalışma koşulları

Uyumlu gazlar: 98 (MCE / MCV) veya 130 (MCES / MCVS) önceden yüklenmiş seçilebilir gaz kalibrasyonları; COMPOSER ile tanımlanabilen ek karışımlar

Çalışma sıcaklığı: -10 ° C ila + 60 ° C

Maks. İç basınç (statik): 145 psig (160 psia)

Dayanabileceği basınç: 175 psig (190 psia)

STP / NTP: kullanıcı tarafından seçilebilir (varsayılan olarak 25 ° C ve 1 atm STP / 0 ° C ve 1 atm NTP'dir)